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Kapillarvermessung (Mikrosystemtechnik)

Ein Kunde fragte ob man "sowas" berührungslos vermessen könne. Mit "sowas" meinte er das winzige Edelstahlröhrchen das er mit den Fingerspitzen hielt. Man musste schon genau hinsehen um zu sehen was da zu vermessen war: ein kleiner Einstich, 0,1mm tief und Toleranzen von wenigen µm. Sportlich... Das Haar unter dem Mikroskop veranschaulicht die Dimensionen um die es hier geht.

Nach sorgfältiger Auswahl der hochwertigen optischen Komponenten begann der Aufbau. Der Strahlengang zweier mit telezentrischen Objektiven bestückten Kameras wurde durch eine Strahlteileroptik zusammengeführt. Als Beleuchtung kam eine ebenfalls telezentrische LED-Lichtquelle zum Einsatz.. Das Ergebnis konnte sich sehen lassen: 0,6µm Wiederholgenauigkeit! Die nachfolgende Messsystemanalyse war entsprechend erfolgreich und Cg und Cgk waren deutlich im grünen Bereich. Ein beauftragtes Messlabor bestätigte unsere MSA.

 

 

Technik:

Kameras: 2 CCD Matrix Kameras, 768 x 494 Pixel
Beleuchtung: telezentrische LED Lichtquelle
Optik: vergüteter Strahlteiler, telezentrische Objektive
Schnittstellen: Analog Framegrabber, Ethernet, Parallel Port
Bedienterminal: Touchscreen (Tastatur)

Messbereich Ein Haar unter dem Mikroskop
Mechanischer Aufbau Alle Masse in µm